Meiden纯臭氧发生器

北京同林超纯臭氧设备服务商

超纯臭氧选购服务热线:010-82461830

Meiden纯臭氧发生器 · 核心竞争力重品质重体验,让臭氧更纯、更安全

安全设计

紧急情况下的防爆设计更安全

信赖性

紧急吹扫机制与紧急停止开关更可靠

标准认证

符合国际安全标准SEMI-S2、UL、NFPA、CE

品质保证

跟踪测试证实气体泄漏的安全性 第三方认证机构

OER*工艺技术

使OH自由基的产生量最大化明电舍独自研发

产品中心保持高纯度、安全性、连续性

  • 超纯臭氧发生器

Meiden超纯臭氧发生器可以持续供给100%浓度臭氧

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应用·解决方案薄膜、材料、半导体、先端技术、医疗、环境

高品质金属氧化物薄膜成长
高品质金属氧化物薄膜成长
【MBE(分子束外延)用氧气源适用例】

·利用纯臭氧作为氧气源可以形成高品质的金属氧化物薄膜。

· 利用纯臭氧作为氧气源的优越性得到国际认知。

· 東京大学川崎研究室提供

In-situ洗净
In-situ洗净
【EUV光刻装置后工程的In-situ洗净】

· 可以In-situ即时清洗低压和高反应性电极部

· 在没有生成氧化物的同时去除污染(碳污染),保持光束反射率

· 100%浓度纯臭氧不含NOx和H₂O,不会对Mask,Mirror造成损伤

· 超真空环境下也能达到100%浓度纯臭氧,可以充分分解Out Gas

碳素纤维的改质
碳素纤维的改质
【改质效果】

· 可以对碳素纤维进行内部改质

· 长期亲水性(1个月以上)

· 无热或物理损伤

薄膜上常温成膜
薄膜上常温成膜
【高密封性实例】

· 通过OER工艺常温生成OH活性基,没有热或物理损伤

· 不需要真空排气,大幅度缩短成膜时间

· 利用专用喷头均匀喷射气体,上游和下游之间没有分布差异

洗净/去除(灰化)
洗净/去除(灰化)
【半导体制造工程】

· 室温下高速度灰化

· 可以灰化各种半导体光刻胶

· 在高离子注入后灰化时不产生光刻胶爆裂

Meiden · 实力铸就信赖从设备到服务,缔造纯臭氧时代

国际安全标准
国际安全标准国际安全标准SEMI-S2、UL、CE

·符合国际安全标准(SEMI-S2、UL、NFPA、CE 等)

·由第三方认证机关通过示踪气体实验认证具有防止气体泄露的安全性。

专利技术
专利技术专利技术明电舍独自研

·通过混合高浓度臭氧和乙烯气体,成功生成高活性OH基。

·能够最适当的控制臭氧和乙烯气体的压力比,从而增加OH基的生成量。

专业臭氧团队20年臭氧行业经验
专业臭氧团队20年臭氧行业经验专业臭氧团队20年臭氧行业经验

·从产品设计到调试,我们高技能的员工通过提供高质量,对社会负责的产品和服务,帮助客户解决各种问题并实现他们的梦想。

·服务人员中不乏20余年行业经验,快速获取客户故障反馈需求,减少沟通时间。

4S式服务机制一站式无忧体验
4S式服务机制一站式无忧体验4S式服务机制一站式无忧体验

·售前:技术人员深入了解客户需求,科学规划产品方案。

·售中:免费配送上门,提供产品操作培训,保证客户方掌握操作方法。

·售后:建立产品终身档案制,服务应急机制,终身培训指导,免费配置升级,上门维护。

客户名录
Customer Directory客户名录

我们心目中的“品质”,不仅意味着产品及服务的质量,还涵盖了支撑起明电品质的“人”与“技术”。凭借员工的诚挚之心和灵活的应对能力,与全球客户建立更加紧密的联系。

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