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In-situ洗净方案

In-situ洗净方案

EUV光刻装置后工程(光刻处)的In-situ洗净应用例

In-situ洗净方案(图1)

 

效果

可以In-situ即时清洗低压和高反应性电极部(低浓度臭氧从未实现的显著特征)

在没有生成氧化物的同时去除污染(碳污染),保持光束反射率

100%浓度纯臭氧不含NOx和H₂O,不会对Mask,Mirror造成损伤

超真空环境下也能达到100%浓度纯臭氧,可以充分分解Out Gas

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