超纯臭氧发生器作为MBE（分子束外延）氧化源应用实例

MBE（分子束外延）氧化源应用实例

超纯臭氧发生器实现的功能和规范

1.低杂质

高纯度（ppb）（竞争对手：ppm顺序）。

3.高浓度

臭氧浓度超过80%

（竞争对手：不到20%）。

4.可调浓度

臭氧浓度可调，从20%到80%或更多。

可调浓度选项可根据您的要求。

MBE的主力阵容

类型:批处理

预期用途：用于研发

臭氧室数：1个

标准全臭氧累积量：16000cc

臭氧流量：10~300sccm

单元配置：价格合理的入门研发型，配有一个臭氧室配置。当纯臭氧耗尽。大约需要2个小时才能填满。